Проектирование и строительство
высокотехнологичных производственных комплексов

Конструкционные материалы для чистых помещений

ФАЛЬШПОЛ

Материалы лучших мировых производителей, отвечающие требованиям SEMI

фальшполы для чистых помещений фальшполы для чистых помещений

Панели сплошные

Серия

Алюминий

Магний

Материал покрытия

Проводящий винил

Характеристики электропроводности покрытия

Проводимость: 104~106 Ω     Антистатичность: 5 x 106~5 x 108Ω

Материал панели

Отлитый под давлением алюминий

Отлитый под давлением магний

Распределенная нагрузка

800 кгс/м2 – 3000 кгс/м2
Прогиб?1.0 мм

800 кгс/м2 – 2200 кгс/м2
Прогиб?1.0 мм

Концентрированная нагрузка

300 кгс/6.45 см2 – 2500 кгс/6.45 см2
Прогиб ?2.0 мм

300 кгс/6.45 см2 – 1200 кгс/6.45 см2
Прогиб ?2.0 мм

Максимальная нагрузка

600 кгс/6.45 см2 – 5000 кгс/6.45 см2

600 кгс/6.45 см2 – 2400 кгс/6.45 см2

Погрешность размеров

600 + 0.00 мм / 600 - 0.20 мм

Погрешность толщины покрытия

± 0.10 мм

Отклонение плоскостности

± 0.20 мм

Отклонение по диагонали

Maкс 0.50 мм

Наружное покрытие

Эпоксидное или Ni-Cr металлизация

Панели перфорированные

Серия

Алюминий

Магний

Материал покрытия

Проводящий винил

Характеристики электропроводности покрытия

Проводимость: 104~106 Ω     Антистатичность: 5 x 106~5 x 108Ω

Материал панели

Отлитый под давлением алюминий

Отлитый под давлением магний

Распределенная нагрузка

500 кгс/м2 – 2000 кгс/м2
Прогиб ?1.0 мм

500 кгс/м2 – 1450 кгс/м2
Прогиб ?1.0 мм

Концентрированная нагрузка

250 кгс/6.45 см2 – 2200 кгс/6.45 см2
Прогиб ?2.0 мм

250 кгс/6.45 см2 – 1000 кгс/6.45 см2
Прогиб ?2.0 мм

Максимальная нагрузка

500 кгс/6.45 см2 – 4400 кгс/6.45 см2

500 кгс/6.45 см2 – 2000 кгс/6.45 см2

Погрешность размеров

600 + 0.00 мм / 600 - 0.20 мм

Погрешность толщины покрытия

± 0.10 мм

Отклонение плоскостности

± 0.20 мм

Отклонение по диагонали

Max 0.50  мм

Процент перфорации

17% – 50%

Наружное покрытие

Эпоксидное или Ni-Cr металлизация

Аксессуары

Спецификация

 

Стойки

Направляющий профиль

Опорная головка

Размер

Ø 26,8 – 76 мм

Высота по требованию заказчика

25 x 25 x 558 мм

25 x 14 x 558 мм,  Толщина: 1 мм

M16 3/4”  M16 1”

Покрытие

Эпоксидное или гальваническое

Эпоксидное

Цинковое гальваническое

ФУНДАМЕНТЫ ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ 

Модель

Амплитуда вибраций

Размер детали

(μ м)

Применение

Тип

Вес

Размер

μ дюйм/с

μ м/с

dB

VC-A

2000

50

66

8

Подходит в большинстве случаев для оптических микроскопов до 400, микро- и оптических весов, установок экспонирования и фотолитографии

 

 

 

ü Стальная конструкция

 

ü Устанавливается на бетонное основание

 

 

 

  1 – 5 т

  5 – 10 т

  10 – 30 т

  30 – 100 т

   ……

 

 

 

ü  Длина

   2 – 4 м

 

ü  Ширина

   2 – 3,5 м

 

ü  Высота

   0,5 – 2 м

   & 2 – 3 м

VC-B

1000

25

60

3

Контрольное и литографическое оборудование (включая степперы) до 3 мкм линейного допуска.

VC-C

500

12,5

54

1

Оптические микроскопы до 1000, контрольное и литографическое оборудование, электронные микроскопы средней чувствительности, процессы совмещения и сканирования TFT - LCD

VC-D

250

6

48

0,3

Сканирующие и просвечивающие электронные микроскопы, электронно-лучевые системы

VC-E

125

3

42

0,1

Наиболее чувствительные системы, такие - как лазерные, электронно-лучевые литографические, работающие в нано-измерении, предъявляющие сверхвысокие требования к динамической стабильности

«ТРОНИКС» - ПРОИЗВОДСТВО ИЗДЕЛИЙ
ИЗ НЕРЖАВЕЮЩЕЙ СТАЛИ

«ТРОНИКС» - МОДУЛЬНЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ

Изготовление менее, чем за 1 месяц!